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實驗室動態

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趙玉龍教授團隊:石英MEMS傳感器系列攻關打破國外技術壟斷

發布時間:2020-02-11

基于微機電系統(Micro-Electro-Mechanical System, MEMS)技術制作的微型傳感器,在工業生產、裝備制造、航空航天和消費電子等領域具有廣泛的應用。

單晶石英材料具有優秀的壓電特性,以及高品質因數、高彈性模量等特性,采用單晶石英制作的石英MEMS加速度傳感器、壓力傳感器和陀螺等,具有高精度、高穩定性、高分辨力等特點,在微型慣性導航系統、姿態測量與控制等領域具有廣泛應用,對國民經濟和國防安全具有重要意義。

西安交通大學機械制造系統工程國家重點實驗室,趙玉龍教授課題組經過近十年的技術攻關,突破了單晶石英各向異性濕法腐蝕、石英等離子干法刻蝕、以及電極制備工藝等關鍵微加工技術,研制出了高品質因數、高穩定性的石英振梁,開發了石英諧振加速度傳感器、石英諧振壓力傳感器和石英振動陀螺等系列石英MEMS傳感器,研究了影響石英諧振傳感器精度和穩定性的應力隔離、封裝阻尼、材料匹配、誤差鏈等。趙玉龍教授課題組與陜西麟德慣性電氣有限公司建立了產學研合作體系,實現了石英諧振加速度計、壓力傳感器和陀螺的工程化批量生產,打破了國外的技術壟斷,實現了低成本、小體積、高精度的石英MEMS傳感器的制造。


撰稿 / 西安交通大學機械制造系統工程國家實驗室趙玉龍教授團隊

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