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實驗室動態

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西安交大主導研制的納米臺階樣板獲批國家一級標準物質

發布時間:2019-12-25

12月9日,國家市場監督管理總局批準了西安交通大學主導研制的四種規格納米臺階高度標準物質為一級標準物質(編號:GBW13975、GBW13976、GBW13977、GBW13978)。這是目前國內尺度最小的納米臺階標準物質樣,填補了國內亞50nm臺階高度標準物質的空白,實現了替代進口,提高了我國在納米幾何量計量領域的核心競爭力和整體技術水平。

在機械制造系統工程國家重點實驗室和電子陶瓷與器件教育部重點實驗室的通力合作下,西安交通大學蔣莊德院士團隊經過二十多年的研究,在國際上首次提出了基于原子層沉積(ALD)的納米臺階樣板制備方法,實現了臺階高度亞埃米(?)量級的精確控制。成功采用ALD技術制備了公稱高度為5nm、10nm、20nm、40nm的單臺階樣板,并由中國計量科學研究院完成了定值、均勻性、穩定性檢驗。4種規格的納米臺階高度樣板可溯源到國家米定義波長基準,定值結果可靠,同時具有良好的均勻性和穩定性,可實現對臺階儀、原子力顯微鏡、輪廓儀等測量儀器的校準,并應用于微電子集成電路與國防軍工、先進制造、生物醫藥等重點產業。

國家標準物質是經過國家級單位認證具有最高計量品質,用基準方法確定量值的標準物質,是用于校準測量器具,評價測量方法或確定材料特性量值的物質。國家標準物質的應用是有嚴格的國家標準和國際標準規定的,每種標準物質都有相應的標準物質證書。

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